無論是大氣(常壓)等離子清洗機(jī)，還是真空(低壓)等離子清洗機(jī)，在對材料進(jìn)行表面改性的時(shí)候都會(huì)通入工藝氣體，如無水無油的干凈壓縮空氣，有一定純度要求的氮?dú)狻⒀鯕?、氬氣等等離子清洗機(jī)中通入的普通工藝氣體要想轉(zhuǎn)化為等離子體，每個(gè)粒子大約需要：：（1~30eV（1eV=1.6022×10-19焦耳）的能量，其中的粒子具有較高的活性和能量密度。
但要注意的是，電離的氣體不一定是就是等離子體，雖然等離子體和普通氣體存在一些共同特點(diǎn)，如它們均滿足氣體狀態(tài)方程，但它們卻有截然不同的性質(zhì)，
PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz(1%)，輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)，對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
主要特點(diǎn)：
1.通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時(shí)間。
2.時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。
3.設(shè)有一個(gè)三通閥，可精確控制進(jìn)氣流量，以及大氣流清洗腔體。
4.選用大功率色射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。
參數(shù)：
1.電源：AC220V 50/60Hz
2.輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W
3.真空泵功率：<500W
4.總功率：<600W
5.射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié)
6.等離子腔體：高純石英腔體，Φ160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封，法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗
7.真空泵：24L/min，直連式雙旋真空泵
8.極限真空度：50mtorr
9.通入氣體：可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)
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