OTF-1200X-4-SF是一款爐管尺寸為100mm，帶有滑軌法蘭的管式爐，zui高工作溫度為1200℃，此款管式爐專為客戶自己搭建CVD系統(tǒng)而設計。
技術參數
爐體結構 | - 爐管尺寸：100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL（石英管）
- zui高工作溫度為1100℃
- 右端安裝有一水冷滑軌法蘭，以便于放樣和取樣
- 在預熱爐體和主反應爐體之間有一水冷法蘭
- 左端水冷法蘭上有個氣體接口，用于客戶通入反應氣體（點擊圖片查看詳細資料）
 
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電源 | 單相, 220V AC, 50/60 Hz |
zui大功率 | 3.6KW（需要20A的空氣開關） |
加熱區(qū) | |
溫控系統(tǒng) | - 采用PID方式來調節(jié)溫度，可設置30段升降溫程序
- 采用K型熱電偶
- 控溫精度：+/- 1℃
- 可選購控溫軟件，可通電腦來設置和顯示溫度程序
 
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密封法蘭 | 右端法蘭： - 水冷卻法蘭，通過冷卻循環(huán)水對密封圈進行水冷（可在本公司購買循環(huán)水冷機）
- 法蘭上有KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接
- 爐體內的樣品臺與法蘭相連接，并且右端法蘭為滑軌法蘭，以便于放樣和取樣
- 法蘭上安裝有一數顯防腐真空計（如下圖）
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凈重 | 100kg |
尺寸 | - 右端法蘭關閉時的尺寸：1220mm×458mm×585mm（48"L X 18"W X 23"H）
- 右端法蘭打開時的zui大尺寸：1676mm×458mm×585mm（66"L X 18"W X 23"H）
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質保 | 一年質保期，終身維護（不包含爐管、密封圈和加熱元件） |
質量認證 | - 質量認證
- 所有電器元件（輸入電壓>24V）都通過了UL認證
- 本公司所有高溫爐都可通過TUV、UL或CSA認證
 
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注意事項 | - 爐管內氣壓（相對氣壓）需小于0.02MPa
- 所用氣瓶上必須安裝減壓閥（可在本公司購買減壓閥）
- 當設備溫度高于1000℃時，爐管內部不可處于真空狀態(tài)，需處于常壓或微正壓狀態(tài)
- 進氣流量需小于200sccm
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